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千級潔凈室工程

我公司公司承建10-100000級千級潔凈室工程、無菌潔凈廠房、空調凈化工程、生物無塵無菌工程等空氣凈化工程配套系統的設計安裝及維護、室內裝飾;各項性能指標均符合最新國際要求和GB50591-2010最新國家凈化工程施工標準。

 千級潔凈室工程

千級潔凈室標準規格說明(一) 

  目前世界各國雖有自訂規格,但普遍還是采用美國聯邦標準209為多,今就209D及209E和世界上其他各國之所訂標準再做更進一步之介紹與相互比較。表1-1為美國聯邦標準209D之潔凈室規格。

表1-1 美國聯邦標準209D潔凈室規格

潔凈室等級(Class)

微塵粒子

壓力

溫度

風速與換氣率(次/hr)

照度lux

粒子大小um

粒子數目Particles/ft3

mmAg

值域℃

推薦值℃

誤差值℃

最大MAX%

最小MIN%

誤差%

層流方式0.35~0.55 m/s

1080

~

1620

1

≧0.5

≦1

>1.3

19.4~25

22.2

±2.8

 

±1.4

45

30

±10

 

±5

≧5.0

0

10

≧0.5

≦10

≧5.0

0

100

≧0.5

≦100

≧5.0

≦1

1000

≧0.5

≦1000

亂流方式≧20 次/hr

≧5.0

≦10

10000

≧0.5

≦10000

≧5.0

≦65

100000

≧0.5

≦100000

≧5.0

≦700

 

  至于209E和209D等最大之不同點在于209E表示單位增加了公制單位,即潔凈室等級以“M”字頭表示,如M1、M1.5、M2、M2.5、M3......依此類推,其目的在于配合國際公制單位之標準化。M字母后之阿拉伯數目字是以每立方公尺中≧0.5um之微塵粒子數目字以10的冪次方表示,而取指數為之;若微塵粒子數介于前后二者完全冪次方之間(即非整數,則以1.5、2.5、或3.5......等表示之。表1-2即為1992年9月新頒布之美國聯邦標準209E之內容,前述之M字母后的數字,可從表中0.5um列的數值中求出,讀者可試算之。

表1-2 美國聯邦標準209E

潔凈度等級

微塵粒子

0.1um

0.2um

0.3um

0.5um

5um

單位

單位

單位

單位

單位

公制

英制

(m3)

(ft3)

(m3)

(ft3)

(m3)

(ft3)

(m3)

(ft3)

(m3)

(ft3)

M1

 

350

9.91

75.7

2.14

30.9

0.875

10.0

0.283

-

-

M1.5

1

1240

35.0

265

7.50

106

3.00

35.3

1.00

-

-

M2

 

3500

99.1

757

21.4

309

8.75

100

2.83

-

-

M2.5

10

12400

350

2650

75.0

1060

30.0

353

10.0

-

-

M3

 

35000

991

7570

214

3090

87.5

1000

28.3

-

-

M3.5

100

-

-

26500

750

10600

300

3530

100

-

-

M4

 

-

-

75700

2140

30900

875

10000

283

-

-

M4.5

1000

-

-

-

-

-

-

35300

1000

247

7.00

M5

 

-

-

-

-

-

-

100000

2830

618

17.5

M5.5

10000

-

-

-

-

-

-

353000

10000

2470

70.0

M6

 

-

-

-

-

-

-

1000000

28300

6180

175

M6.5

100000

-

-

-

-

-

-

3530000

100000

24700

700

M7

 

-

-

-

-

-

-

10000000

283000

61800

1750

 

  美國聯邦標準FS 209D 都以英制每立方英尺為單位,而日本則是采用公制,即以每立方公尺為單位;另外209D與日本JIS(B9920-1989)標準中另一不同點為209D是以0.5um之粒子數為計數基準,而日本則以0.1um微粒子為計數標準。日本標準之表示法是以Class1,Class2,Class3,......Class8表示,即最好之等級為Class1,最差則為Class8,表1-3為日本JIS(9920-1989)之標準規定的粒子上限數(個/m3)。其Class1,Class2...之數目字以0.1um粒子為基準,而以每立方公尺中微塵粒子總數中化為10之冪次方,取其指數而得。

表1-3 日本JIS(9920 ~1989)標準

粒徑級數

Class1

Class2

Class3

Class4

Class5

Class6

Class7

Class8

0.1

101

102

103

104

105

106

107

108

0.2

2

24

236

2,360

23,600

-

-

-

0.3

1

10

101

1,010

10,100

101,000

1,010,000

10,100,000

0.5

-

-

35

350

3,500

35,000

350,000

3,500,000

5.0

-

-

-

-

29

290

2,900

29,000

 

資料來源:Clean Room Technology By Crystal Cs. The Nederlands

 

潔凈室標準規格說明(二)

  在德國工業及醫學等之多數領域中,潔凈室是為相關產業界所重視和期望發展之技術,因此在1967年完成了德國的潔凈室規格,在德國規格中潔凈室等級之表示法與美國規格不同,其表示法是以4*10”的形式表示粒徑0.5um以上之粒子數,而以其中之指數n規定等級,如4*103 即表示等級為3,此等級與美國聯邦規格Class100想近似。表1-4為德國規格所容許之粒子數與美國、法國、近似等級之表示。

表1-4 德國規格表

等級

微塵粒徑(um)

與別國等級比較

0.5

1

5

美國

法國

3

4*103

1*103

-

100

4000

4

4*104

1*104

0.03*104

-

-

5

4*105

1*105

0.03*105

10000

400000

6

4*106

1*106

0.03*106

100000

4000000

 

表1-5為美國聯邦標準209D標準粒子之數目上限值(個/ft3)(以0.5u粒子為依準)。由于美國與日本之規格中所表示之單位分類不同,為讓使用人員有一快速之獲知二者之相近標準等級,以期運用于工作上,故有必要將二者之間做一潔凈度級別之換算,如表1-6

表1-5 美國209D規定粒子數(上限值)

等級

Class1

Class10

Class100

Class1000

Class10,000

Class100,000

0.1

35(1,225)

350(12,250

-

-

-

-

0.2

7.5(263)

75(2,630)

750(26,300)

-

-

-

0.3

3(105)

30(1,050)

300(10,500)

-

-

-

0.5

1(35)

10(350)

100(3,500)

1000(35,000)

10,000(350,000)

100,000(3,500,000)

5.0

-

-

-

7

70

700

 

*()內之數值單位:個/M3

表1-6 美日潔凈度級別換算

日本

美國

級別3

Class 1

級別4

Class 10

級別5

Class 100

級別6

Class 1000

級別7

Class 10000

級別8

Class 100000

 

  除了美國、日本、德國、之潔凈室標準外,世界上尚有英國、法國、澳洲及韓國、中國大陸之規格,表1-6即為世界各國潔凈度等級規格之比較。

表1-6 世界各國潔凈度等級規格表

國名

美國

美國

日本

英國

德國

法國

澳洲

韓國

中國大陸

規格

FS209D

FS209E

JIS B 9920

BS 5295

VDI 2083

AFN 4410

AS 1386

KS

QJ2214

年度

1988

1992

1989

1989

1990

1981

1989

1991

1991

基準粒子(um)

0.5

0.5

0.1

0.5

1

0.5

0.5

0.3

0.1 0.5

單位

pcs/ft3

pcs/M3

pcs/M3

pcs/M3

pcs/M3

pcs/M3

pcs/M3

pcs/M3

pcs/M3

Class

-

-

1

-

-

-

-

M1

0.1um ~1

-

M1

2

-

0

-

-

M10

0.1um ~5

1

M1.5

3

C

1

-

0.035

M100

0.1um ~10

10

M2.5

4

D

2

-

0.35

M1000

1

100

M3.5

5

E or F

3

4,000

3.5

M10000

100

1000

M4.5

6

G or H

4

-

35

M100,000

1,000

10,000

M5.5

7

I

5

400,000

350

M1,000,000

10,000

100,000

M6.5

8

J

6

4,000,000

3500

M10,000,000

100,000

-

M7

-

K

7

-

-

-

-

-

-

-

L

-

-

-

-

-

 

*以0.5um為區別。

 

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